在10nm節(jié)點(diǎn)Intel的進(jìn)度比預(yù)期晚了多年，很大一個(gè)原因跟EUV光刻機(jī)有關(guān)，Intel之前一直認(rèn)為EUV技術(shù)不成熟，所以他們?cè)?0nm節(jié)點(diǎn)使用了四重曝光工藝，量產(chǎn)難度大，導(dǎo)致10nm工藝延期。
現(xiàn)在Intel的態(tài)度變了，對(duì)EUV光刻工藝開(kāi)始重視起來(lái)了，畢竟三星、臺(tái)積電的EUV工藝都量產(chǎn)幾年了，Intel也將在7nm節(jié)點(diǎn)全面使用EUV光刻工藝，只不過(guò)該工藝也跳票了，預(yù)計(jì)2023年才能量產(chǎn)。
在日前參加摩根大通的會(huì)議時(shí)，CEO基辛格表示，Intel將全面擁抱EUV光刻工藝，大家能夠看到Intel對(duì)EUV工藝進(jìn)行多代重大改進(jìn)，大家能看到晶體管級(jí)別的重大改進(jìn)。
從Intel的表態(tài)來(lái)看，他們對(duì)EUV工藝很有信心，不同廠商手中EUV工藝的發(fā)揮情況也不同，Intel這番表態(tài)暗示他們會(huì)對(duì)EUV工藝做出重大改進(jìn)，甚至能深入到晶體管級(jí)別的升級(jí)改良。
關(guān)鍵詞： Intel
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